Датчык ціску - гэта своеасаблівы датчык ціску, які можа быць выкарыстаны ў сталі, хімічных і іншых палях для вымярэння ціску, і можа рэалізаваць аўтаматычны кантроль ціску пры выкарыстанні разам з рэгулятарам ціску.
Дыфузія датчыка ціску ў крэмнію /Уводзіны ў прынцып
Датчык ціску ў крэмнію дыфузіі заснаваны на прынцыпе п'езарэзістычнага эфекту, выкарыстоўваючы інтэграваную тэхналогію працэсу праз допінг і дыфузію, уздоўж характэрнага кірунку крышталічнага на монкі крышталічнага крэмнію, утвараючы ўстойлівасць да дэфармацыі, каб утварыць пшанічны мост. Выкарыстоўваючы эластычныя ўласцівасці сіліконавага матэрыялу, анізатропны мікрамашынізацыя, якая ўтвараецца на тым жа сілічным матэрыяле і дыферэнцыраванай сіліконавай сіліконавай матэрыяле. Выяўленне сілы і сіла-электрычнага пераўтварэння вырабляецца.
Ціск дыфузнага датчыка ціску крэмнію дзейнічае непасрэдна на дыяфрагму датчыка (нержавеючай сталі або керамікі), у выніку чаго дыяфрагма атрымала мікра-перамяшчэнне, прапарцыянальнае ціску асяроддзя і значэнне супраціву змены датчыка. Электронная схема выяўляе гэтую змену і пераўтварае яе. Стандартны сігнал вымярэння, які адпавядае гэтаму ціску, выводзіцца.
Асаблівасці датчыка ціску ў крэмніе
1. Падыходзіць для вырабу дробных перадатчыкаў
П'езарэзістычны эфект ад сілавога рэзістара крэмнію чыпа не мае мёртвых зоны ў нізкім дыяпазоне каля нулявой кропкі, а дыяпазон датчыка ціску можа быць невялікім, як некалькі кПа.
2. Высокая адчувальнасць да выхаду
Каэфіцыент адчувальнасці супраціву дэфармацыі крэмнію на 50 да 100 разоў вышэйшы, чым у металічным дэфармацыйным датчыку, таму адчувальнасць адпаведнага датчыка вельмі высокая, а агульны выход каля 100 мВ. Такім чынам, няма спецыяльных патрабаванняў да ланцуга інтэрфейсу, і гэта зручней выкарыстоўваць.
3. Высокая дакладнасць
Паколькі зандзіраванне, адчувальнае пераўтварэнне і выяўленне датчыка рэалізуюцца тым жа кампанентам, не існуе прамежкавай спасылкі пераўтварэння, а памылкі паўтаральнасці і гістэрэзісу невялікія. Паколькі сам монокристлинный крэмній мае высокую калянасць і невялікую дэфармацыю, забяспечваецца добрая лінейнасць.
4. Паколькі аднаразовая дэфармацыя працы такая ж нізкая, як парадак мікра-дэфармацыі, максімальнае зрушэнне эластычнага чыпа знаходзіцца ў парадку субмікронаў, таму няма зносу, стомленасці, без старэння, а працягласць жыцця складае да 1 × 107 цыкла ціску, са стабільнымі характарыстыкамі і высокай надзейнасцю.
5. З-за выдатнай хімічнай устойлівасці да крэмнію, нават неізаляваныя датчыкі ціску ў крэмнію могуць у значнай ступені адаптавацца да розных асяроддзяў.
6. Паколькі чып прымае інтэграваны працэс і не мае кампанентаў перадачы, ён невялікі па памерах і вазе.
Дыфузійныя меры засцярогі датчыка ціску ў крэмнію для выкарыстання
1. Калі выбіраецца празмерны дыяпазон або недастатковы дыяпазон, амплітуда павінна кантралявацца ў межах ± 30%Fs.
2. Рэжым ціску дзеліцца на ціск калібра, абсалютны ціск і ўшчыльненне ціску, які можна выбраць разумна ў адпаведнасці з патрэбамі.
3. Пацвердзіце максімальную перагрузку сістэмы. Максімальная перагрузка сістэмы павінна быць меншай, чым абмежаванне абароны ад перагрузкі датчыка, інакш гэта паўплывае на тэрмін службы прадукту і нават пашкодзіць прадукт.
4. Не дакраніцеся да дыяфрагмы з любымі цвёрдымі аб'ектамі, інакш гэта прывядзе да разрыву дыяфрагмы.
5. Матэрыял і працэс вырабу ядра адмоўнага ціску не супадаюць з станоўчым ціскам, таму ядро адмоўнага ціску не можа быць заменена ядром ціску.
6. Калі ласка, праверце інструкцыю па інструкцыі перад устаноўкай, каб пазбегнуць пашкоджанняў прадукту, выкліканага няправільнай ўстаноўкай.
7. Выкарыстанне ІМПАР можа прывесці да небяспекі і асабістых траўмаў.
8. Ядро выцягваецца з корпуса, і забаронена цягнуць правады і ногі труб.
Прымяненне датчыка ціску ў крэмнійным ціску
Датчыкі ціску ў крэмнію дыфузіі ў асноўным выкарыстоўваюцца ў сістэмах кіравання працэсамі, прыборах каліброўкі ціску, гідраўлічных сістэм, біямедыцынскіх інструментах, гідраўлічных сістэмах і клапанах, вымярэнні ўзроўню вадкасці, халадзільнага абсталявання і кіравання ВВК. Можна сказаць, што ўсе галіны з высокімі патрабаваннямі да аўтаматызацыі могуць выкарыстоўваць дыфузныя датчыкі ціску ў крэмнію.
Час паведамлення: жніўня-15-2022